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반도체 공정의 핵심! 플라즈마 균일화의 비밀

2025-01-10
실리콘 전극의 미세한 홀들을 통해
플라즈마를 균일하게 형성!
[저작권자(c) YTN science 무단전재, 재배포 및 AI 데이터 활용 금지]
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