[사이다] ② '틀 없이도...' 끊김 없는 회로 인쇄 기술 개발

빛을 이용해 실리콘 웨이퍼 위에 미세한 회로 패턴을 사진 찍듯 새겨 넣는 '리소그래피 기술'은 반도체 공정의 핵심 기술인데요.

국내 연구진이 한 번에 정밀하게 긴 회로를 찍어 낼 수 있는 방법을 개발했습니다.

화면 보시겠습니다.

기존 리소그래피 기술은 빛이 정해진 틀을 통해 모양을 만드는 방식이었습니다.

국내 연구팀이 개발한 기술은 이런 틀 없이 실시간으로 빛 모양을 소프트웨어 프로그램으로 조절해 회로를 찍어낼 수 있는 '디지털 리소그래피 스캐너'입니다.

또 웨어러블 기기 같은 유연전자소재 위에서도 위치 오차를 실시간으로 보정할 수 있는 시스템을 구축했습니다.

더 나아가 이를 신문 인쇄처럼 필름을 멈추지 않고 무늬를 찍어내는 '롤투롤 기술'과 결합했는데, 연구팀은 이를 통해 회로의 크기 제한이 없는 연속 생산이 가능해졌습니다.

기존에는 긴 회로를 한 번에 찍어낼 수 없어 일부분을 찍고 이어야 해 결함이 발생했는데, 이런 결함을 줄였다는 설명입니다.

연구진의 설명 들어보시죠.

[장원석 / 한국기계연구원 나노융합연구본부장 : 카메라를 실시간으로 보면서 계산을 통해서 기판이 지금 어떻게 들어오는구나 어떻게 휘어졌구나 측정해서 바로 반영해서 찍기 때문에 흘러 들어가는 기판의 변형을 보정 하면서 찍을 수 있기 때문에 기술이 업그레이드된 겁니다.]

연구팀은 이번 기술이 고해상도 유연전자소자, 반도체 패키징 공정 등 다양한 산업 분야에 적용될 것으로 기대한다고 밝혔습니다.

지금까지 사이언스 이슈 다 모아온 김은별이었습니다.

YTN 사이언스 김은별 (kimeb0124@ytn.co.kr)